ZnO薄膜的MBE制备与结构分析

摘要：

采用MBE技术在蓝宝石（1120）基片上生长出垂直取向的ZnO薄膜，在si（111）基片上生长出平行取向的ZnO薄腹，并分别讨论了基片材料、基片温度和生长速率对ZnO薄膜结构取向的影响。

关键词： ZnO薄膜 结构分析 分子速外延

作者: 王合英 何元金

作者单位: 大学物理系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 82～84

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）