氧化锌薄膜掺杂研究的新进展

摘要：

综述了掺杂Al，Ga，In，Ge，Cu，Li和Pb等元素对ZnO薄膜的微结构及电、光、气敏等性质的影响。

关键词： ZnO薄膜 掺杂 微结构

作者: 赵谢群 邱向东

作者单位: 北京有色金属研究总院603室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国有色金属学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 206～209

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）