ZnO薄膜的室温荧光光谱(PL)研究

摘要：

利用直流磁控溅射法在SI(111)衬底上制备了C轴择优取向一致的ZnO薄膜，在室温下对薄膜 进行了PL谱和XRD测试，ZnO薄膜的PL谱上的本征紫外光发射(UV)出现分峰现象，并伴有较宽的绿乐发射峰，XRD谱表明衬底温度对ZnO薄膜的光学性能有很大的影响，ZnO晶粒与晶粒间的晶界应力与UV分峰现象有关，而ZnO薄膜的点缺陷影响薄膜的绿光发射峰。

关键词： ZnO薄膜 SI(111)衬底 磁控溅射法 紫外光发射

作者: 叶志镇 陈汉鸿 刘榕 张昊翔

作者单位: 硅材料国家重点实验室,浙江大学(杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 127～129

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）