基于ZnO/SiO<,2>Si结构的SAW射频滤波器研究

摘要：

ZnO/SiO<,2>Si结构的SAW滤波器因基能够和其它电路集成而在RF领域受到越来越多的关注。该文介绍了该结构的工作原理，给出了在设计过程中的衬底参数选择，并对叉指结构进行了设计，最后用Matlab中的SIMULINK工具对镜像阻抗连接结构进行了特性模拟，并得到了其频响曲线。

关键词： ZnO/S O<,2>S结构 波滤波器 射频电路

作者: 杨磊 任天令 刘理天

作者单位: 清华大学微电子研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 205～208

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）