高等别线纹尺校准装置及校准方法研究
高等别线纹尺广泛用于精密加工及精密测量设备的定位、标定及校准等.为满足长三角地区高端装备制造业对高等别线纹尺的量值溯源需求,提升地方计量机构的量传能力,研制开发了新的激光干涉比长仪装置.在主体结构设计、激光干涉测长、环境监测与补偿等方面进行了精心设计,并利用基准尺等多种仪器,对装置各部分的计量特性进行校准及实验测试.测试结果表明,该装置校准线纹尺达到了基准级的测量精度.
长度计量 高等别线纹尺 激光干涉比长仪 光电显微镜
孙双花 叶孝佑 邹玲丁 任国营 张旭东 孙骏栖 沈雪萍 高宏堂
中国计量科学研究院,北京100029 常州市计量测试技术研究所,江苏常州213164
国内会议
甘肃酒泉
中文
13-17
2017-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）