基于多角度旋转的高精度平晶测量

摘要：

为使平晶测量不确定度达到nm级,研究了一种基于多角度旋转的全面形测量方法.介绍了平面标准平晶传统的三面互检法,提出了波前分离技术,将一个波前分为旋转变化部分与旋转不变部分,实现了被测平晶的绝对测量.通过实验及国际比对结果表明,该测量方法的不确定度达到7nm,保证了我国平面度计量水平的国际先进地位.

关键词： 平面度计量 平晶测量 多角度旋转 不确定度

作者: 康岩辉 王冰鹤 崔京远 张恒

作者单位: 中国计量科学研究院,北京100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 2017全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 甘肃酒泉

会议语种:中文

页码: 25-28

在线出版日期: 2017-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）