用于紫外光学显微镜的二维纳米位移台的设计及实验验证
针对紫外光学显微镜实现线宽测量的需要,设计了一种能够提供精密位移的大行程二维纳米位移台.分别采用柔性铰链和压电陶瓷驱动器作为导向机构和驱动机构,采用内外层串联嵌套结构实现二维独立位移运动.对平台进行力学建模,分析并计算得到二维工作刚度及集中应力公式.根据分析所得理论公式确定纳米位移台参数并进行有限元仿真.建立机械模型,根据机械模型设计并搭建激光干涉位移测量系统进行实验验证.实验数据分析结果表明,实验结果与理论设计基本一致,二维纳米位移台的设计满足要求.
线宽测量 紫外光学显微镜 二维纳米位移台 柔性铰链 压电陶瓷驱动器
常旭 高思田 施玉书 黄鹭 李琪 李东升
中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018 中国计量科学研究院,北京100029
国内会议
甘肃酒泉
中文
29-34
2017-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）