湿度对原子力显微镜测量金纳米栅格几何形貌的影响

摘要：

对不同湿度环境下原子力显微镜(AFM)对金纳米栅格几何形貌的测量结果进行了探究.通过在恒温条件下对仪器整体环境湿度进行有规律的调控,实现了在相对湿度35％～75％范围内对金纳米栅格高度及表面粗糙度的准确测量.结果表明:对于实验中使用的线宽标称值2μm的金纳米栅格,栅格高度随相对湿度的增加而有所降低;粗糙度随相对湿度增加而增加,且相对湿度升高至75％时对测量结果影响尤为显著.因此,在使用AFM对纳米几何栅格结构进行精确测量和定值时,需要对环境湿度进行记录和监控.

关键词： 金纳米栅格 几何形貌测量 环境湿度 原子力显微镜

作者: 黄鹭 施玉书 马爱文 曹丛 李琪 李伟 李适 高思田

作者单位: 中国计量科学研究院,北京100029 中国计量测试学会,北京100029 山东省计量院,山东济南250000

会议类型: 国内会议

会议名称: 2017全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 甘肃酒泉

会议语种:中文

页码: 43-46

在线出版日期: 2017-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）