大长径比台阶钨探针制备方法研究

摘要：

研究了基于电化学腐蚀法的大长径比台阶钨探针针尖制备方法,该探针可用于针尖增强拉曼光谱测控系统.在实验室自主设计研制的包含电化学腐蚀控制电路的探针制备装置上,通过精密压电陶瓷控制探针腐蚀时间和位移,获得了长径比可控、重复性好的探针针尖;在此基础上,通过精确调节腐蚀过程中钨丝与液面的位置,制备了台阶探针针尖.

关键词： 钨探针针尖 电化学腐蚀法 微观形貌 拉曼光谱

作者: 高思田 施玉书 李伟 徐靖涛 景蔚萱 杨树明 王琛英

作者单位: 中国计量科学研究院,北京100029 中国计量科学研究院,北京100029;中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018 西安交通大学,陕西西安710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 2017全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 甘肃酒泉

会议语种:中文

页码: 47-50

在线出版日期: 2017-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）