计量型白光干涉显微镜干涉图像处理技术

摘要：

为了实现微纳台阶样板表面三维尺寸的快速精确计量,设计了计量型白光干涉显微镜.针对白光干涉显微镜获取的干涉图像,提取表面各测量位置的干涉信号,使用小波变换滤除信号噪声,建立白光干涉信号数学模型,使用Hilbert提取干涉信号的包络曲线,从干涉图像中解调出被测样品表面的三维形貌信息.对标称值为281nm和4430nm的台阶样板进行了测量,测量标准差为0.8nm和7.9nm,相对示值误差为0.6％和0.4％,实验结果表明:Hilbert变换算法能够快速精确地解算出表面相对高度,具有较高的运算效率和运算精度.

关键词： 三维尺寸计量 白光干涉显微镜 干涉图像 图像处理

作者: 张树 施玉书 高思田 李琪 李伟 黄鹭 舒慧 皮磊 李适

作者单位: 中国计量科学研究院,北京100029 中国计量科学研究院,北京100029;天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 2017全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 甘肃酒泉

会议语种:中文

页码: 80-84

在线出版日期: 2017-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）