基于激光干涉仪的位移传感器标定技术研究

摘要：

为提高位移传感器的测量精度,研究了基于激光干涉仪的位移传感器标定方法,并搭建了标定系统,以激光干涉仪作为长度标准,设计了符合阿贝原则的机械结构,减小标定误差;开发了自动控制测量系统,实现被测传感器与标准干涉仪数据的连续、同步采集并输出误差曲线;建立了基于多点差值的误差修正模型,实现位移传感器误差的自动标定.以三角激光传感器为被测对象进行了实验,实验结果表明,经标定后被测传感器绝对误差减小50％以上.

关键词： 长度计量 位移传感器 标定方法 激光干涉仪 绝对误差

作者: 刘俊亨 孙双花 田明 叶孝佑 高宏堂 刘香斌

作者单位: 长春理工大学,吉林长春130022;中国计量科学研究院,北京100029 中国计量科学研究院,北京100029 长春理工大学,吉林长春130022

会议类型: 国内会议

会议名称: 2017全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 甘肃酒泉

会议语种:中文

页码: 85-88

在线出版日期: 2017-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）