基于Fabry-Perot谐振腔的微波介电性能测试系统研究
随着5G时代的到来,高频下电路板材料的性能开始受到广泛关注.介电性能作为电路板选材、研制过程中的重要参数,其在高频下的精确测试已成为工业生产中的必要环节.传统电路板介电性能检测多采用抽检、送样的方式,且测试方法多采用波导法、微带线法等,存在步骤繁琐、速度慢、测试结果不精确等缺点.针对以上问题,本文提出一种基于Fabry-Perot谐振法的微波介电性能测试系统解决方案,只需放入样品即可实现材料介电性能的自动化测试.首先,介绍了相关系统的测试原理和测试方法,并完成了工作频率为10GHz和60GHz的Fabry-Perot谐振腔的设计和加工;其次,完成了10GHz腔体的装配和调试;最后采用该腔体测试了PTFE的谐振频率和品质因数.测试结果表明:工作频率为10GHz的谐振腔可实现一腔多频、变腔变频测试,且空腔Q值高达8万.与传统方法相比,该测试方法更方便,精度更高,这为工业实现电路板基材介电性能在线检测提供了经济化的解决方案,未来可广泛应用于工业生产线,将具有十分广阔的应用前景.
电路板 介电性能 微波测试系统 Fabry-Perot谐振腔
熊刚 李建壮 向锋
西安交通大学 微电子系 功能材料研究中心,陕西 西安
国内会议
苏州
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2019-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）