YBCO超导薄膜的氟化研究

摘要：

该文利用CF<,4>气体，对YBCO薄膜表面进行了可控的rf等离子体氟化处理。AFM与XPS的分析结果表明：适当的氟化所起的作用主要为化学作用。氟化可造成Y(3d)与0(1s)两元素的本征峰相对强度减少，甚于消失，而对其它元素则影响不大。该文的研究为利用等离子体氟化YBCO膜形成弱化势垒层提供了初步结果。

关键词： YBCO薄膜 等离子体氟化 表面形貌 结(键)合能

作者: 傅泽禄 顾大振 刘雷 赵恩海

作者单位: 大学电子科学与工程系(南京) 大学电子 科学与工程系(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 30～33

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）