聚焦离子束-扫描电镜技术及其在地球科学中的应用
20世纪80年代出现的聚焦离子束-扫描电镜双束系统，它集成了离子束刻蚀和扫描电镜成像的优点，可以实现微纳米尺度上的样品定点加工与分析，在近年来受到了广泛关注，已经发展成为材料科学、地球科学、生物及半导体集成电路等领域不可或缺的分析表征手段。除了成像、沉积、刻蚀之外，聚焦离子束-扫描电镜双束系统在地球科学中常常用于超薄片透射电镜样品(＜100nm）、2D和3D维原子探针(针尖)样品的制备和样品微观形貌和成分的三维重构分析等.
地球科学 聚焦离子束 扫描电镜
谷立新 唐旭 李金华
中国科学院地质与地球物理所电子显微镜实验室,北京100029 中国科学院地质与地球物理所电子显微镜实验室,北京100029;中国科学院新疆理化技术研究所中国科学院地质与地球物理研究所地球与行星物理重点实验室,北京100029
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1003-1003
2019-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）