小型化MEMS高通滤波器研究

摘要：

介绍了一种小型高性能的高通滤波器,该高通滤波器利用两层硅片来实现悬置带线的结构,采用立体布线和通孔的方式来接地,运用HFSS三维电磁场仿真软件设计出了一款截止频率为7.6GHz的MEMS高通滤波器,运用MEMS工艺在两层硅衬底上进行了样品的研制.样品取得了良好的测试结果,其中通带内的插入损耗小于1.2dB,通带回波损耗小于10.9dB.

关键词： 高通滤波器 小型化设计 立体布线 通孔方式

作者: 朱锋 陶子文 郁元卫 朱健

作者单位: 南京电子器件研究所 南京,210016 南京电子器件研究所 南京,210016;微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室 南京,210016

会议类型: 国内会议

会议名称: 2017年西南三省一市(贵州、重庆、四川、云南)自动化与仪器仪表学术年会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 63-65

在线出版日期: 2017-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）