真空电子功率器件用AlN陶瓷输出窗

摘要：

本文叙述了陶瓷在功率电子器件输出窗组件中具有特殊地位和作用.当今,氮化铝陶瓷具有高热导率,低的介质损耗和非常低的次级电子发射系数,是一种理想的输出窗片材料.

关键词： 真空电子功率器件 氮化铝陶瓷 热导率 介质损耗

作者: 高陇桥 何衡平

作者单位: 北京真空电子技术研究所,北京 100015 国家电子陶瓷产品质量监督检验中心,湖南娄底 417000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届电子陶瓷制造、陶瓷—金属封接技术交流会暨真空电子与专用金属材料分会年会

会议地点: 江西衢州

会议语种:中文

页码: 55-58

在线出版日期: 2017-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）