石英加速度计除气工艺探索
减小石英加速度计表体内气体压力是降低其热噪声的有效手段,而合理的真空除气工艺是长期维持石英加速度计表体内部较低的气压的保障.石英加速度计体积小,结构件中含有不耐受高温的有机物,真空保持极为困难.本文分析石英加速度计结构特点,选择了合适的工艺参数,通过长期工艺实验摸索积累了大量的实验数据.这一方法对其他类型的除气工艺具有一定的借鉴意义.
石英加速度计 气体压力 真空除气 工艺参数
仇恺 雷立铭 于洪宇
天津航海仪器研究所,天津 300131
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2017-11-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）