电容式加速度计敏感结构优化设计与仿真

摘要：

介绍一种电容式加速度计的敏感结构,通过Solidworks三维实体模型软件对其建模,推导敏感结构固有频率、灵敏度计算公式,进行理论计算,并对敏感元件簧片尺寸进行优化设计.采用有限元ANSYS仿真软件对敏感结构进行静态和模态分析,对该型加速度计进行动态性能测试.实验结果表明:该型加速度计敏感结构可达近100Hz,加速度计频率带宽拓展了130％,仪器抗干扰能力也得到大幅提升,为仪器设备中具有相似敏感结构的振动分析方法和集中参数布置设计提供了参考.

关键词： 地震监测 电容式加速度计 敏感结构 优化设计 灵敏度

作者: 洪利 穆如旺 姚振静 韩智明 李亚南

作者单位: 防灾科技学院 防灾减灾装备开放实验室,河北廊坊 065201

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国地震学会地震观测技术专业委员会2017年学术研讨会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 27-31

在线出版日期: 2017-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）