真空电弧离子溅射设备技术研究

摘要：

本文介绍了一种真空电弧离子溅射设备,该设备采用电弧激发阴极等离子体的方法可以将阴极靶材材料以离子的形式溅射至阳极基体表面.采用该设备在铌钨合金(Nb521)发动机喷管基体表面镀覆钼涂层,结合后续渗硅工艺制备的MoSi2涂层,经试验、试车验证,可以将耐高温抗氧化温度提高300℃以上.

关键词： 航空发动机 喷管基体材料 铌钨合金 钼涂层 真空电弧离子溅射设备 抗氧化温度

作者: 刘广续 胡敏 梁宝恩

作者单位: 西安航天发动机厂 特种装备研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2017航天先进制造技术国际研讨会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 655-659

在线出版日期: 2017-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）