金属辅助透明导电键合的GaAs量子点硅基混合激光器

摘要：

设计并生长了发光波长1200-1300纳米GaAs基量子点材料,制作了利用ITO透明导电层作为N型电极InAs/GaAs量子点激光器结构,利用金属In与SOI波导材料辅助键合,测量了器件的电学和光学特性.

关键词： 硅基混合激光器 量子点材料 电学特性 光学特性

作者: 秦璐 许兴胜 徐波 张连学 葛超洋 冉广照

作者单位: 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室,北京100083 中国科学院半导体研究所 材料科学重点实验室,北京100083 北京大学 物理学院,北京100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 26-27

在线出版日期: 2017-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）