基于银-氧化铟锡混合薄膜的近红外介电常数近零点和等离子体特性调谐的研究

摘要：

本文系统地描述了一系列银-氧化铟锡(Ag-ITO)共溅薄膜的制备和研究,通过调控薄膜中银的含量,获得了微观结构上的同质混合薄膜,此时少量掺杂的银的含量(＜3at.％)被证明具有最优值.同时,银的引入显著增强了ITO中In2O3多晶的择优取向,尤其反映在其(222)、(400)、(440)峰的强度提升.

关键词： 共溅薄膜 银元素 氧化铟锡 制备工艺 近红外介电常数 等离子体特性

作者: 陈超楠 王哲玮 伍科 叶辉

作者单位: 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 33-34

在线出版日期: 2017-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）