基于金/锗纳米线肖特基结的光探测器

摘要：

将锗浓缩工艺和微纳加工工艺结合起来,制作了一种完全可控的锗纳米线探测器.器件结构如图1所示.在图1(a)中,两边的方形电极接触区尺寸为100×100μm2.图1(b)的中央正是锗纳米线,两边为采用电子束蒸发蒸镀的Ni/Au电极.

关键词： 锗纳米线光探测器 锗浓缩工艺 微纳加工工艺 尺寸形貌

作者: 李毅 张鹤 赵向杰 崔成聪 夏金松

作者单位: 华中科技大学,武汉光电国家实验室,武汉 400374

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 67-68

在线出版日期: 2017-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）