Er-Y共掺杂的硅基Al2O3纳米层状结构电致发光器件

摘要：

稀土Er3+离子掺杂的硅基Al2O3氧化物具有良好的热稳定性并且在红外1530光纤通讯波段具有优异的光增益性质,因此在硅基光电子器件领域具有重要的应用价值.但是由于Er3+离子在Al2O3中掺杂固溶度较低(约1018/cm3限制了器件发光效率和强度的进一步提升).为了提高Er3+离子的浓度掺杂,本文采用原子层沉积技术制备Al2O3(Y2O3-Er2O3-Y2O3)纳米层状复合结构,制备了高效率的硅基MOS结构电致发光器件,并研究了其电致发光性质.

关键词： 硅基光电子器件 纳米层状结构 硅基三氧化二铝 铒掺杂 原子层沉积 电致发光性质

作者: 裴海燕 熊细欢 孙甲明

作者单位: 硅光子学与储能器件实验室,南开大学材料科学学院 天津市津南区海河教育园区同砚路38号,天津300350

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 82-83

在线出版日期: 2017-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）