自供电光电传感器的构建及光电性能研究

摘要：

通过热蒸发法蒸镀超薄氧化钨薄膜,成功构建具有WO3-x/Si异质结纳米光电传感器,器件显示出自驱动、高灵敏、宽光谱、快速响应等特征.通过对异质结界面进行H化和CH3化处理,发现CH3处理调控能显著拓宽器件带宽、增强光电响应性能.同时,还系统研究了不同微纳结构对异质结光电器件的影响规律,揭示微纳结构和界面钝化对WO3-x/Si光电器件性能增强的微观机理.

关键词： 自供电光电传感器 微纳结构 异质结界面 钝化处理 光电性能

作者: 刘于金 赵传熙 曾平羊 马坤 谢伟广 麦文杰

作者单位: 暨南大学物理系,思源实验室广州市真空薄膜技术与新能源材料重点实验室,广州510632

会议类型: 国内会议

会议名称: 珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 46-50

在线出版日期: 2016-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）