元器件ESD失效分析中的关键技术及其应用

摘要：

要准确分析判断器件是否由于ESD造成的损伤或失效,在实际工程案例中通常存在几个难点:被发现的滞后性,电特性上与EOS难以区分,芯片内部的失效点难以定位,失效点的物理形貌难以判断,难以查找是哪个环节产生的静电放电损伤了器件,如何进行技术验证.本文将探讨,以上每个分析环节应该使用何种技术,以及在实验中应该做到什么,才能在逻辑上更为严密的确定器件的损伤或失效是由于ESD引起.

关键词： 电子元器件 失效分析 静电放电

作者: 王有亮 梁晓思 来萍

作者单位: 工业和信息化部电子第五研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: ESD-S第五届静电防护与标准化国际研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 21-24

在线出版日期: 2016-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）