一种新型静电电荷分析仪校准方法

摘要：

本文研究了静电电荷分析仪(也称为充电平板分析仪CPM)的测量原理,分析了其计量特性,并提出了平板电压、衰减时间、平板电容、门限电压、安全性、平板尺寸和平板绝缘性等参数的校准和测量方法.

关键词： 静电电荷分析仪 计量特性 校准方法 测量方法

作者: 佟雷 温星曦 刘民 殷聪如

作者单位: 北京东方计量测试研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: ESD-S第五届静电防护与标准化国际研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 78-83

在线出版日期: 2016-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）