碳纳米管阴极电离规残余气体研究
碳纳米管(carbon nanotube cathode,CNT)阴极电离真空计能够克服高温热阴极引入的出气、辐射、光辐照等问题,有希望突破制约超高/极高真空测量下限延伸的技术瓶颈,但是在超高/极高真空条件下,CNT阴极电离规的出气效应是影响其测量下限延伸的重要因素.基于超高/极高真空校准装置,采用质谱分析方法,实验研究了CNT阴极电离规工作过程中的气体成分变化,测试了CNT阴极电离规宏观出气率,分析了微观气体脱附对极限压力的影响,结果表明,CNT阴极表面独特的气体吸附-脱附特性,门极和阳极表面受到的高能电子轰击脱附产生气体,均是影响规管测量下限延伸的关键因素,采用较长时间的电流轰击和焦耳加热,可以将CNT阴极电离规局部本底干扰压力降低到2.3×10-8Pa.该研究结果为推动CNT阴极电离规在超高/极高真空测量中的应用提供了实验与理论指导.
碳纳米管阴极电离规 残余气体 质谱分析 放气率
张虎忠 李得天 成永军 孙健 习振华 王永军
兰州空间技术物理研究所,真空技术与物理重点实验室,甘肃兰州730000
国内会议
北京
中文
231-236
2016-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）