TCAD在微电子工艺教学中的应用探索

摘要：

介绍了微电子学专业的历史、现状和教学现状,详细阐述了微电子工艺教学中的应用EDA软件进行的互动教学方法.分析了传统微电子工艺教学方法与EDA辅助的互动教学法的差异.发现应用EDA辅助的互动教学法在微电子工艺教学中可以加快学生接受新知识的速度和加深理解深度,培养学生理论联系实际的能力,帮助学生建立从半导体物理-工艺-器件的知识体系,拓展学生的思路,提高学生的就业竞争力.

关键词： 高等院校 微电子学专业 互动教学法 能力培养

作者: 王强 邓洁

作者单位: 南通大学电子信息学院,南通江苏226019 南通大学计算机学院,南通江苏226019

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国高等学校物理实验教学研讨会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 54-56

在线出版日期: 2016-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）