高灵敏度多层压电陶瓷传感器设计
传感器是自动检测和自动控制系统中的关键器件,压电传感器作为传感器中的重要分支,已在消费电子、工业控制、系统监测、国防军事等领域中广泛应用.基于低温共烧陶瓷技术的多层压电陶瓷元件具有极高的压电常数、小型化的体积、批量化生产的优点,将其用于压电传感器会大幅度提高电荷灵敏度、减小传感器的体积;设计制造出了高达400pc/g、固有频率超过50kHz的压电传感器,具有优异的性能.
压电陶瓷传感器 优化设计 性能测试 固有频率
刘天国 张德 赵宝林 陶逢刚
中国工程物理研究院电子工程研究所 绵阳 621999
国内会议
广州
中文
327-332
2016-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）