高真空计的计量校准方法研究

摘要：

真空技术作为一门实用的基础技术,具有除气、干燥等特征,不仅广泛用于医药、制冷、食品、日常用品等诸多工业和民生领域,还用于航天、航空、可控热核聚变、表面物理等尖端科学研究领域,真空计量技术是真空技术的重要组成部分,真空设备计量的准确与否,直接关系到真空测量设备的使用,而作为高真空的计量设备更是如此.本文主要针对(10-3～10-5)Pa的真空设备的计量校准方法进行了研究,以此解决高真空计的校准工作.

关键词： 高真空计 计量校准 不确定度 量值传递

作者: 花宝印

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届电子信息技术学术年会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 351-353

在线出版日期: 2016-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）