干涉显微镜的参考本位调制研究

摘要：

干涉显微镜可用于超精加工表面的加工质量评定，但是这种方法无法获得表面形貌图，因而难以全面评定表面的加工质量。该文提出了一种干涉显微镜的参考相位调制方法，配以CCD摄像机、图像处理系统和微型计算机，可获得了超精加工表面的形貌，并能全面评定表面加工质量。文中论述了其中的参考本位市制实现方法，给出了实验结果。

关键词： 干涉显微镜 相位调制 轮廓

作者: 刘冲 郭隐彪 张凤生

作者单位: 重庆大学机械传动国家重点实验室(重庆) 青岛大学机电学院(青岛)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会精密机械分会99”精密工程学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 175-176

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）