干涉显微镜标准装置开展表面粗糙量值传递的不确定度

摘要：

该文通过对干波显微镜标准装置用于开展表面粗祺量值传递工作时的不确定度分量、自由度进行分析和计算，以确定干涉显微镜标准装置的合成标准不确定和扩展（总）个确定度，并对该标准装置的重复性和稳定性进行了（考核）对其个确定进行验证。

关键词： 干涉显微镜 表面粗糙度 不确定度 比较样板 量值传递

作者: 张海燕 黄健

作者单位: 空气动力研究与发展中心计量测试站

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届第五次全国气动实验测控自动化技术交流会

会议地点: 镇江

会议语种:中文

页码: 257～265

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）