基于白光干涉仪台阶高度测量的不确定度分析

摘要：

介绍了一种基于白光干涉仪测量台阶高度的方法.首先,介绍了白光干涉的原理;其次,对台阶高度的定义及其表征方法进行了论述,依据该方法,使用白光干涉仪对VLSI的型号为SHS-9400QC的样块进行测量;最后,对影响测量结果的分量进行分析,给出了不确定度评定方法.

关键词： 台阶高度 测量值 不确定度 白光干涉仪

作者: 冯亚南 李锁印 韩志国 赵琳

作者单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051

会议类型: 国内会议

会议名称: 2016计量测试技术交流会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 60-62

在线出版日期: 2016-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）