基于CFD与智能优化的直拉硅单晶生长工艺参数研究

摘要：

本文提出了一种包含了CFD方法、GMDH算法和NSGA-Ⅱ的混合策略，用于Cz法晶体生长建模及工艺参数优化。通过CFD得到了大量的实验样本；通过GMDH型神经网络算法辨识出目标函数固液界面形变量h和缺陷评价准则V/G的多项式模型。

关键词： 直拉硅 单晶生长 物理场 耦合机理

作者: 刘丁 黄伟超

作者单位: 西安理工大学晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 1-29

在线出版日期: 2018-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）