内循环流化床反应器内还原多晶硅过程的数值模拟研究
本文阐述了内循环流化床反应器内还原多晶硅过程,内循环流化床能有效避免硅烷与热壁面的接触,内循环流化床加热区颗粒浓度分布较为均匀,避免传热传质恶化,内循环流化床加热区的热颗粒能迅速加热反应区内的反应气,保证反应效率。
多晶硅 还原工艺 内循环流化床 数值模拟
杜少华 刘立军
西安交通大学能源与动力工程学院
国内会议
南昌
中文
1-19
2018-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
多晶硅 还原工艺 内循环流化床 数值模拟
杜少华 刘立军
西安交通大学能源与动力工程学院
国内会议
南昌
中文
1-19
2018-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)