N型铸造多晶硅中磷的挥发及分布研究

摘要：

本文阐述了N型铸造多晶硅中磷的挥发及分布，当铸锭中间位置的界面曲率十分平直，理论上磷的横向分布应该也是均匀的，但是实际上边部磷含量略高于中心部位，这是因为凝固前期边部和中心部位熔体流动速度不同导致的。

关键词： 多晶硅 铸锭工艺 磷元素 挥发性能 分布规律

作者: 李鹏廷 王子龙 谭毅

作者单位: 大连理工大学材料科学与工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 1-22

在线出版日期: 2018-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）