Recent Progress of ALD Technology for PERC+Production--A Prospect of Innovation and Localization in China

摘要：

ALD已成为高效电池生产的主流技术,在综合成本上具有重要优势,可以延续到后PERC时代，微导ALD装备实现了高效电池生产的技术领先。

关键词： 硅太阳能电池 原子层沉积 材料选择 性能表征

作者: 黎微明

作者单位: 江苏微导纳米装备科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 南昌

会议语种:英文

页码: 1-28

在线出版日期: 2018-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）