激光掺杂及相关损伤研究

摘要：

激光与选择性发射极，激光磷掺杂,以PSG作为掺杂源,激光磷掺杂在不改变表面绒面结构的同时可以实现重掺,通过附加SE工艺,可以将PERC电池效率提升0.24 ％，激光硼掺杂,以丝印纳米硼墨作为硼掺杂源,能够实现～1E21的超高掺杂浓度,但是会有大量孔洞、位错等缺陷,同时部分硅材料激光掺杂后以非晶态的形式存在.

关键词： PERC电池 激光掺杂 缺陷分析 绒面结构

作者: 杨宁

作者单位: 华东理工大学新能源材料与器件课题组

会议类型: 国内会议

会议名称: 2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 1-12

在线出版日期: 2018-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）