氧化硅-氮化硅复合减反层在黑硅PERC太阳电池上的应用

摘要：

SiOx-SiNy复合减反层在湿法黑硅基础上进一步减小短波段反射率，改善短波段光谱响应，提高短路电流密度和光电转换效率,SiOx-SiNy复合减反层可在PECVD一步工序完成，仅需笑气改造,SiOx-SiNy复合减反层可能会带来电极接触问题。

关键词： 黑硅PERC太阳电池 复合减反层 氧化硅 氮化硅 短路电流密度 光电转换效率

作者: 张树德

作者单位: 苏州腾晖光伏技术有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 1-17

在线出版日期: 2018-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）