Role of H2O in the characterization of the IWOH films prepared by reactive plasma deposition

摘要：

本文首先介绍了高效率SHJ太阳电池研发平台，指出具备2MW从硅片到电池、封装的研发制作能力，分析了SHJ太阳电池结构和特征，提出了高效SHJ太阳电池关键技术，适宜极薄膜均匀沉积的晶体硅表面结构，这是实现高开路电压的前提和基础；异质界面缺陷态调控是实现高开路电压的关键；高迁移率高透光率TCO膜是实现高电流密度和填充因子的关键。并对两种透明导电膜制备技术，以及RPD制备高品质TCO薄膜及应用进行了研究。

关键词： 太阳电池 透明导电膜 制备工艺

作者: Fanying Meng

作者单位: Research Center for New Energy Technology(RCNET);Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology(SIMIT);Chinese Academy of Sciences(CAS

会议类型: 国内会议

会议名称: 2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 南昌

会议语种:英文

页码: 1-16

在线出版日期: 2018-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）