掺杂非晶硅沉积过程对SHJ太阳电池界面钝化影响研究

摘要：

揭示了掺杂非晶硅沉积过程对于本征非晶硅化学钝化性能的影响;通过一种精确的化学刻蚀方法，表征了本征非晶硅在后续非晶硅沉积过程中的结构演变：微结构因子降低，薄膜质量密度提高，钝化性能提高;在电池性能上，疏松本征非晶硅可以提高少子寿命和开路电压。同时，由于带隙更宽，作为前表面钝化层时可以降低寄生吸收提升短路电流。

关键词： 太阳电池 钝化性能 非晶硅沉积 化学刻蚀

作者: 吴卓鹏

作者单位: 中科院上海微系统与信息技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 1-10

在线出版日期: 2018-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）