超精金刚石在硅材料薄片化加工中的应用

摘要：

金刚石线锯已经普遍应用在硅材料和蓝宝石材料切割加工中,相对于传统的砂浆切割方式具有显著的优点:硅片损伤层厚度低、表面加工质量高、切割厚度均匀;损耗小、成材率高;切割速度快、效率高;COD排放低、环境污染小等优点.重点对超精微粉的性能及质量控制，以及生产工艺流程进行了研究。

关键词： 超精金刚石 生产工艺 质量控制

会议类型: 国内会议

会议名称: 2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 1-16

在线出版日期: 2018-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）