磁控溅射制备ITO、IWO、SCOT、SRE薄膜及其在SHJ太阳电池的应用

摘要：

介绍了SHJ太阳电池研究背景、高效SHJ太阳电池用TCO薄膜研究进展、光电性能研究及应用，应用于高效SHJ太阳电池的TCO薄膜需要进一步关注薄膜制备方法、特别是初期成膜方式对界面的影响。

关键词： 太阳能电池 半导体薄膜 磁控溅射 光电性能

作者: 石建华 黄围 刘奕阳 孟凡英 刘正新

作者单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国科学院大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 1-14,17

在线出版日期: 2018-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）