《湿化学表面处理对硅片表面粗糙度及界面态的影响》

摘要：

对光伏电池硅片表面进行平滑处理，可以降低硅片表面粗糙度降低，修饰硅片表面形貌;同时优化钝化界面，减少界面缺陷态，提高少子寿命，从而使硅片表面钝化效果得到提高。一定条件下的平滑工艺对于硅片表面粗糙度的减小和钝化界面优化有着明显的作用，但是需要在陷光效果和界面性能之间需要找到一个平衡点，所以适当的平滑处理时间是这个工艺的关键。

关键词： 光伏电池 硅片 平滑处理 表面粗糙度 陷光效果

作者: 纪方旭

作者单位: 中科院电工研究所;太阳电池技术研究组

会议类型: 国内会议

会议名称: 2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 1-17

在线出版日期: 2018-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）