我国集成电路设备产业发展的重要性,瓶颈和策略
本文讲述了从电子管计算机到智能手机-工欲善其事,分析了国际最先进的台积电芯片制造的全自动智能化的生产线，半导体关键设备的开发涉及到50多种科学技术及工程领域，等离子体刻蚀的应用五花八门，是最复杂的微观加工工艺，提出了加大在半导体设备和材料领域的投资;要达到整个集成电路产业链投资的20％(目前的投资不到3%)。除股本金投资外，要继续国家重大项目的资助.要鼓励和推动产业链国产化，特别是制定设备和材料的国产化率指标。到2020年应达到15%，到2025年应达到33%，到2030年应达到50%等方面.
集成电路设备产业 投资管理 激励机制 商业模式
尹志尧
中微半导体设备(上海)有限公司
国内会议
2017中国集成电路产业发展研讨会暨第二十届中国集成电路制造年会
南京
中文
32-57
2017-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）