集成电路制造先进技术发展趋势及解决方案

摘要：

文章介绍了集成电路制造先进技术的发展趋势，阐述了北方微电子公司简介，并提出北方微电子集成电路制造领域解决方案。

关键词： 半导体集成电路 制造工艺 设备管理 技术创新

作者: 刘韶华

作者单位: 北方微电子

会议类型: 国内会议

会议名称: 2016中国集成电路产业发展研讨会暨第十九届中国集成电路制造年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 125-140

在线出版日期: 2016-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）