6寸化合物半导体射频与功率集成电路制造

摘要：

厦门市三安集成电路有限公司位于厦门市火炬(翔安）高新技术开发区内,项目总规划用地281亩,总投资30亿元,本项目为福建省2014-2018重大工业项目、厦门市2015年重点项目,属于国家扶持的战略性新兴产业,新建砷化镓和氮化镓外延片生产线,以及适用于专业通讯微电子器件市场的砷化镓高速半导体芯片与氮化镓高功率半导体芯片生产线.

关键词： 半导体芯片 制造工艺 砷化镓 氮化镓

作者: 叶念慈

作者单位: 厦门市三安集成电路有限公司技术中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 2016中国集成电路产业发展研讨会暨第十九届中国集成电路制造年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 183-190

在线出版日期: 2016-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）