X射线荧光光谱仪真空控制系统设计与实现

摘要：

基于x射线荧光光谱仪对测量环境真空度的需求,提出了一种带自动压力控制的真空控制系统.所设计的真空控制系统由智能传感器、控制芯片、上位机、执行机构和辅助电路组成,并设置两种工作模式.实验结果表明,控制系统在两种工作模式下运行正常,具有压力实时监控、系统故障检测等功能,并可以根据压力值改变真空泵的转速,从而达到节约能源的效果.

关键词： X射线荧光光谱仪 真空控制系统 硬件设计 软件开发

作者: 杨佳铭 麻硕 邱忠义

作者单位: 北京金自天正智能控制股份有限公司 北京100070

会议类型: 国内会议

会议名称: 2017全国激光前沿检测技术军民融合交流研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 65-67,119

在线出版日期: 2017-09-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）