原子力显微镜梯度微悬臂梁的振动分析

摘要：

在本文中,原子力显微镜的微悬臂梁的前两种模态的谐振频率和敏感度是基于修改后的偶应力理论和欧拉梁理论研究,且微悬臂梁由功能梯度材料构成.通过Hamilton原理,推导出高阶控制方程和边界条件.根据解析求解,讨论了样品表面接触刚度,长度尺度参数和梯度指数对悬臂微梁的弯曲振动特性的影响.

关键词： 原子力显微镜 微悬臂梁 谐振频率 敏感度

作者: 梁利娜 柯燎亮 汪越胜

作者单位: 北京交通大学,100044

会议类型: 国内会议

会议名称: 北京力学会第二十二届学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 78-79

在线出版日期: 2016-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）