室温连续工作的波长9.3微米的量子级联激光器

摘要：

量子级联激光器在红外对抗和气体传感等领域有着重要的用途.本文采用用分子束外延(MBE）在InP衬底上生长了InGaAs/InAlAs的有源区结构,然后用湿法腐蚀除了双沟的脊波导,用MOCVD填沟生长了半绝缘InP(Fe:InP）掩埋异质结后,二次外延了InP上波导,制备的单脊波导器件能够达到303K的连续工作温度.激光器在283K时,激射波长为9.35微米,连续波输出功率达45mW,温度升高到303K时,其波长红移到9.45μm,仍有10mW输出功率.通过进一步分布反馈布拉格光栅的制作，制备的新器件有望在长波红外的气体传感领域得到应用。

关键词： 量子级联激光器 制备工艺 异质结构 性能表征

作者: 赵越 张锦川 卓宁 翟慎强 刘俊歧 刘峰奇

作者单位: 中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室,北京 100083 低维半导体材料与器件北京市重点实验室,北京 100083 中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京 100049

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国分子束外延学术会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 116-116

在线出版日期: 2017-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）